ФР.1.27.2009.06595
Методика измерения "Автоматизированное измерение координат двумерного расположения большой совокупности эквивалентных нанообъектов на поверхности подложки"(Растровый электронный микроскоп Philips XL-40 или аналог., укомплектованный прецизионным столиком)
| Номер / код | ФР.1.27.2009.06595 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | для измерения координат двухмерного расположения большой совокупности эквивалентных нанообъектов, сформированных на плоской поверхности, и вычисления статических характеристик их взаимного расположений |
| Измеряемая величина | координаты двумерного расположения большой совокупности эквивалентных нанообъектов |
| Метод измерений | Растровый электронный микроскоп Philips XL-40 или аналогичный, укомплектованный прецизионным столиком |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | размер нанообъекта, нм 40 70 100 130 |
| Характеристика погрешности | суммарная неопределенность измерения координат, нм 11-8 18-13 33-42 36-37 |
| Разработчик | ФГОУ ВПО 'МИЭТ' (ТУ) Московский институт электронной техники |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМС" |
| Дата свидетельства | 2009-12-01 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу