ФР.1.27.2009.06763
«Методика измерений толщины тонких (от 10 нм) покрытий (пленок, слоев) методом растровой электронной микроскопии на поперечных срезах, приготовленных с помощью ионного пучка»
| Номер / код | ФР.1.27.2009.06763 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Контроль толщины слоев сверхтонких покрытий |
| Измеряемая величина | Эпитаксиальный нанослой |
| Метод измерений | Растровая электронная микроскопия |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | См. Приложение |
| Характеристика погрешности | См. Приложение |
| Разработчик | ГОУ ВПО 'Белгородский государственный университет' |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМС" |
| Дата свидетельства | 2009-11-10 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу