ФР.1.27.2010.07298
Методика прямого масс-спектрометрического анализа тонкоплёночных объектов с пределом обнаружения до 0,001 % масс. И послойным разрешением до 5 нм ("химические профили")
| Номер / код | ФР.1.27.2010.07298 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | измерение химического состава и толщины ("химический профиль") платиновых покрытий на ниобиевой и титановых подложках |
| Измеряемая величина | массовая доля элемента, толщина платинового покрытия |
| Метод измерений | прямой масс-спектрометрический анализ |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Разработчик | ФГУП 'ЦНИИ КМ 'Прометей' |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМС" |
| Дата свидетельства | 2010-06-17 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу