ФР.1.27.2010.07299
Определение локального элементного состава структурных составляющих методом спектроскопии потерь энергии электронов с локальностью до 10 нм
| Номер / код | ФР.1.27.2010.07299 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | измерение локального элементного состава структурных составляющих. При толщине препарата 0,1мкм с локальностью до 10 нм могут быть определены следующие химимческие элементы: B, C, N, O, F, Ne, Na, Mg, Al, Si, P, S, Cl, Ar, K, Ca, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Y, Zr, Nb, Mo, Tc, Ru, Rh, Pd, Ag, Cd, In, Sn, In, Sn, Sb, Te, I, Xe, Cs, Ba, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tn, Yb, Lu, Th, U. |
| Измеряемая величина | элементный состав |
| Метод измерений | спектроскопия характеристических потерь энергии электронов |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | минимальный предел обнаружения каждого элемента соответствует его концентрации - 5% в режиме получения карт распределения химических элементов и - 0,1% при анализе спектров |
| Характеристика погрешности | по теоретическим оценкам погрешность определения концентрации каждого элемента составляет 25% |
| Разработчик | ФГУП 'ЦНИИ КМ 'Прометей' |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМС" |
| Дата свидетельства | 2010-06-17 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу