ФР.1.27.2011.09120
МВИ 14-2009 «Методика выполнения измерений геометрических параметров массивов оксидных наноразмерных структур методом атомно-силовой микроскопии».
| Номер / код | ФР.1.27.2011.09120 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | МВИ предназначена для измерения средней высоты, максимальной высоты, среднего диаметра основания, площади основания, объема, аспектного соотношения сторон оксидных наноразмерных структур. |
| Измеряемая величина | Ср. и макс. высота, ср. диаметр основания, пло-щадь основания, объем, аспектное соотношение сторон |
| Метод измерений | Метод атомно-силовой микроскопии. |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | Средняя высота от 1 до 100 нм вкл.; максимальная высота от 1 до 100 нм вкл.; средний диаметр основания от 1 до 100 нм вкл.; площадь основания от 10..10000 нм2 вкл.; объем от 10 до 1000000 нм3 вкл.; аспектное соотношение сторон от 1 до 100 вкл. |
| Характеристика погрешности | (15…47) % |
| Разработчик | ГОУ ВПО Северо-Кавказский государственный технический университет (Сев-кав ГТУ) |
| Аттестующая организация | ФБУ "Ростовский ЦСМ" |
| Дата свидетельства | 2009-12-16 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу