ФР.1.27.2011.09293
Рекомендация «ГСИ. Высокоразрешающие пространственно-угловые рефлектометрические измерения. Методика выполнения измерений с помощью высокоразрешающего сканирующего рефлектометра»
| Номер / код | ФР.1.27.2011.09293 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика выполнения измерений шероховатости сверхгладких поверхностей твердых тел (стекол, монокристаллических подложек, оптических граней призм) с линейными размерами от 30 мм до 60 мм и толщиной не менее 100 мкм |
| Измеряемая величина | Шероховатость |
| Метод измерений | Метод рентгеновского отражения. |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | 0,1-1,5 нм |
| Характеристика погрешности | ±50% в диапазоне 0,1- 0,5 нм. ±20% в диапазоне 0,5-1,5 нм |
| Разработчик | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН |
| Дата свидетельства | 2004-11-30 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу