ФР.1.27.2011.09294
Рекомендация «ГСИ. Параметры структуры монокристаллов и сложных многослойных нанокомпозиций. Методика выполнения измерений рентгенодифракционным методом.»
| Номер / код | ФР.1.27.2011.09294 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика выполнения измерений параметров структуры монокристаллов, а также сложных многослойных нанокомпозиций.: толщины эпитаксиальных слоев |
| Измеряемая величина | Толщина эпитаксиальных слоев, состав |
| Метод измерений | Рентгенодифракционный метод |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | Толщины эпитаксиальных слоев в диапазоне 1-200 нм. Состав твердых растворов в диапазоне 1-1000 нм |
| Характеристика погрешности | ±1% |
| Разработчик | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН |
| Дата свидетельства | 2004-11-30 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу