ФР.1.27.2011.09309
Рекомендация «ГСИ. Определение плотности приповерхностных слоев многослойных гетероструктур. Методика выполнения измерений с помощью рентгеновского высокоразрешающего сканирующего рефлектометра ВСР-100 (модернизированного)»
| Номер / код | ФР.1.27.2011.09309 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика выполнения измерений рентгеновской плотности приповерхностных слоев твердых тел с помощью модернизированной установки ВСР-100. Объект контроля- аттестованные меры шероховатости стандартных образцов |
| Измеряемая величина | Рентгеновская плотность оптически гладких слабопоглощающих приповерхностных слоев |
| Метод измерений | Метод рентгеновского отражения - рефлектометрия рентгеновских лучей. |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | 0,1 до 18 г/см 3 |
| Характеристика погрешности | ±20% при доверительной вероятности Р = 0,95. |
| Разработчик | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН |
| Дата свидетельства | 2005-11-30 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу