ФР.1.27.2011.09310
Рекомендация «ГСИ. Метрические параметры поверхности. Методика выполнение измерений с помощью сканирующей зондовой нанолаборатории Ntegra Prima»
| Номер / код | ФР.1.27.2011.09310 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Для измерения метрических и латеральных параметров микрорельефа поверхности кристаллов и пленок, используемых в микро- и нанотехнологиях на сканирующей зондовой нанолаборатории Ntegra Prima. Объект контроля - эталонный стандартный образец нанорельефа поверхности, аттестованный независимым способом на эталонной установке ОАО «НИЦПВ». |
| Измеряемая величина | параметров микрорельефа поверхности |
| Метод измерений | Атомно-силовой микроскопии (АСМ) |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | 10-10 – 10-4м |
| Характеристика погрешности | 12% при доверительной вероятности P = 0,95 |
| Разработчик | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН |
| Дата свидетельства | 2006-07-14 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу