ФР.1.27.2011.09312
Рекомендация «ГСИ. Межплоскостные расстояния в кристаллах в диапазоне 0,1÷30 нм; распределение интенсивностей в дифракционных картинках. Методика выполнения измерений с помощью электронографа ЭМР-110К»
| Номер / код | ФР.1.27.2011.09312 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика измерение параметров структуры тонких пленок (размеры элементарной ячейки, межплоскостные расстояния, координаты атомов), многослойных пленок и покрытий с наноразмерными толщинами слоёв, используемых в микро- и нанотехнологиях, а также нанокристаллов с помощью электронографа модернизированного регистрирующего ЭМР-110К (с компьютерным управлением). |
| Измеряемая величина | Интенсивность рефлексов, расстояние между симметричными парами рефлексов |
| Метод измерений | Электронно-дифракционным методом. |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | В диапазоне 0,130 нм. В диапазоне 10-6 10-14 А. |
| Характеристика погрешности | При доверительной вероятности Р = 0,95 не превышают 1%. |
| Разработчик | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН |
| Дата свидетельства | 2006-11-30 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу