ФР.1.27.2011.09317
Рекомендация «ГСИ. Линейные размеры элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов, регистрируемых в ионных и электронных пучках. Методика выполнения измерений с помощью микроскопа Quanta 200 3D»
| Номер / код | ФР.1.27.2011.09317 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Настоящая рекомендация устанавливает методику выполнения измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов с помощью микроскопа Quanta 200 3D |
| Измеряемая величина | Линейные размеры |
| Метод измерений | Метод сравнения длины измеряемого элемента топологии с длиной масштабной метки, предварительно откалиброванной с помощью меры МШПС-2.0К, аттестованной ОАО «НИЦПВ». |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | В диапазоне 0,04- 1000 мкм. |
| Характеристика погрешности | 8 % в диапазоне 0,04 ÷ 0,08 мкм; 4 % в диапазоне 0,08 ÷ 1000 мкм. |
| Разработчик | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН |
| Дата свидетельства | 2009-03-10 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу