ФР.1.27.2011.09318
Рекомендация «Метрические параметры поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующей зондовой нанолаборатории Ntegra Aura»
| Номер / код | ФР.1.27.2011.09318 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика измерения метрических параметров (высота, шероховатость, сечение) в микро- и нанообъектах , кристаллов, покрытий и пленок на сканирующем зондовом микроскопе Ntegra Aura. Объект контроля- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К. |
| Измеряемая величина | Метрические параметры |
| Метод измерений | Методом атомно-силовой микроскопии (АСМ) |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | 10-1-10-5 |
| Характеристика погрешности | ±6% при доверительной погрешности Р=0,95 в диапазоне 10-10-10-8 м и 5% в диапазоне 10-8-10-5м. |
| Разработчик | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН |
| Дата свидетельства | 2009-08-25 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу