ФР.1.27.2011.09319
Рекомендация «ГСИ. Метрические параметры поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующего зондового микроскопа Solver P47H»
| Номер / код | ФР.1.27.2011.09319 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика метрических измерений микро- и нанообъектов, кристаллов, покрытий, пленок Объект контроля- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К. |
| Измеряемая величина | Метрические параметры |
| Метод измерений | Метод зондовой микроскопии с помощью Solver P47H |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | В диапазоне 10-10-10-5 м |
| Характеристика погрешности | ±6% при доверительной вероятности Р=0,95 в диапазоне измерений 10-10-10-8 и 5% в диапазоне 10-8-10-5 м. |
| Разработчик | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН |
| Дата свидетельства | 2009-08-25 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу