ФР.1.27.2011.09321
Рекомендация «Линейные размеры микро- и нанообъектов. Методика выполнения измерений с помощью растрового электронного микроскопа S-4800»
| Номер / код | ФР.1.27.2011.09321 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика выполнения измерений линейных размеров микро- и нанообъектов с помощью растрового электронного микроскопа (РЭМ) S-4800. Объект контроля-аттестованная мерв ширины и периода специальная МШПС-2.0К. |
| Измеряемая величина | Линейные размеры |
| Метод измерений | Метод регистрации вторичной эмиссии электронов. |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | 0,02-1000мкм |
| Характеристика погрешности | ±12% при доверительной вероятности Р=0,95 в диапазоне 0,02-0,05 мкм и ±5% в диапазоне измерений 0,05-1000мкм |
| Разработчик | Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН |
| Дата свидетельства | 2009-09-01 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу