ФР.1.27.2011.11065
Методика измерения. Методика измерения эллипсометрических углов на эллипсометре
| Номер / код | ФР.1.27.2011.11065 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Предназначена для выполнения измерений эллипсометрических углов с использованием спектрального эллипсометра alfa-SE, входящего в состав Государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2010 |
| Измеряемая величина | 1 Эллипсометрический угол Δ (Дельта) 2 Эллипсометрический угол ψ (Пси) |
| Метод измерений | Поляризационный |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | 1 Эллипсометрический угол Δ (Дельта) от 0° до 360° 2 Эллипсометрический угол ψ (Пси) от 0° до 90° |
| Характеристика погрешности | 1 Эллипсометрический угол Δ (Дельта) 0,09° 2 Эллипсометрический угол ψ (Пси) 0,06° |
| Разработчик | ФГУП 'ВНИИОФИ' |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИОФИ" |
| Дата свидетельства | 2011-10-05 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу