ФР.1.27.2011.11081
Методика (метод) измерений с помощью интерферометра Майкельсона перемещений динамической меры в диапазоне 2-100нм
| Номер / код | ФР.1.27.2011.11081 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | измерения перемещений динамической меры в диапазоне 2-100нм |
| Измеряемая величина | перемещения динамической меры |
| Метод измерений | с помощью интерферометра Майкельсона |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Характеристика погрешности | +/-1,5 нм |
| Разработчик | ФГУП 'ВНИИМС' |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМС" |
| Дата свидетельства | 2011-11-08 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу