ФР.1.27.2011.11089
Методика измерений геометрических параметров (толщины покрытий, поверхностной плотности) нанопокрытия пермаллоя на кремнии
| Номер / код | ФР.1.27.2011.11089 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Измерение геометрических параметров (толщины и поверхностной плотности) нанопокрытия пермаллоя на кремнии |
| Измеряемая величина | поверхностная плотность, г/м2; толщина покрытия, нм. |
| Метод измерений | рентгенофлуоресцентный метод с измерением поверхностной плотности на ГЭТ 168-2010 |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | Диапазон измерений поверхностной плотности, г/м2: от 0,100 до 0,500 вкл. Диапазон измерений толщины покрытия, нм: от 11,5 до 115,0 вкл. |
| Разработчик | ФГУП 'УНИИМ' |
| Аттестующая организация | ФГУП "УНИИМ" |
| Дата свидетельства | 2011-10-28 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу