ФР.1.27.2011.11148
М 01-2011-П «Параметры геометрические поверхностных самоорганизованных наноостровков SiGe. Методика измерений методом атомно - силовой микроскопии»
| Номер / код | ФР.1.27.2011.11148 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Обеспечение измерений геометрических параметров поверхностных самоорганизованных наноостровков SiGe: высоты и линейного размера основания (диаметра, ширины, длины) с нанометровой точностью с помощью метода атомно-силовой микроскопии. Область использования: нанотехнологии, твердотельная электроника. Методика предназначена для исследования наноматериалов и лазерных структур на основе самоорганизованных наноостровков SiGe. |
| Измеряемая величина | Геометрические параметры поверхностных самоорганизованных наноостровков SiGe |
| Метод измерений | методом атомно-силовой микроскопии |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | Геометрические параметры поверхностных самоорганизованных наноостровков SiGe: высота в диапазоне от 3,0 нм до 100 нм вкл., линейный размер основания (диаметр, ширина, длина) в диапазоне от 30 нм до 500 нм вкл. |
| Характеристика погрешности | Методика обеспечивает получение результатов измерений геометрических параметров поверхностных самоорганизованных наноостровков SiGe с погрешностями: – высота в диапазоне от 3,0 нм до 10 нм вкл. ± 22 % отн., в диапазоне св. 10 нм до 100 нм вкл. ± 15 |
| Разработчик | ФБУ «Нижегородский ЦСМ» |
| Аттестующая организация | ФГУ "Нижегородский ЦСМ" |
| Дата свидетельства | 2011-09-12 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу