ФР.1.27.2011.11151
М 06-2011-ПС «Параметры геометрические и оптические поверхностных наноструктур. Методика измерений методом ближнепольной сканирующей оптической микроскопии»
| Номер / код | ФР.1.27.2011.11151 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Обеспечение измерений геометрических и оптических параметров поверхностных наноструктур методом ближнепольной сканирующей оптической микроскопии. Объекты исследования: поверхностные металлические, полупроводниковые, диэлектрические микро- и нанообъекты, созданные в процессе искусственного воздействие на первоначальную структуру, полученные методами литографии, самоорганизации. Область использования: нанотехнологии, новые наноматериалы, твердотельная электроника, интегральная оптика, оптоэлек |
| Измеряемая величина | Геометрические параметры поверхностных наноструктур |
| Метод измерений | методом ближнепольной сканирующей оптической микроскопии |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | Геометрические параметры поверхностных наноструктур: высота в диапазоне от 3,0 нм до 4000 нм вкл., линейный размер (диаметр, ширина, длина) в диапазоне от 0,10 мкм до 150 мкм вкл. Оптические параметры поверхностных наноструктур: коэффициент оптичес |
| Характеристика погрешности | Методика обеспечивает получение результатов измерений геометрических параметров поверхностных наноструктур с погрешностями: – высота в диапазоне от 3,0 нм до 50 нм вкл. ± 22 % отн., в диапазоне св. 50 нм до 4000 нм вкл. ± 15 % отн.; – линейный разм |
| Разработчик | ФБУ «Нижегородский ЦСМ» |
| Аттестующая организация | ФГУ "Нижегородский ЦСМ" |
| Дата свидетельства | 2011-09-12 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу