ФР.1.27.2011.11534
Определение высоты неровности микрорельефа и параметров шероховатости поверхности методом двухлучевой когерентной интерферометрии
| Номер / код | ФР.1.27.2011.11534 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Определяет измерения структуры и параметров микрорельефа поверхности |
| Измеряемая величина | Высота неровности |
| Метод измерений | Метод двухлучевой когерентной интерферометрии |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | 1 - 120 нм |
| Характеристика погрешности | +/-1,3 нм |
| Разработчик | ФГУП 'ВНИИМС' |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМС" |
| Дата свидетельства | 2010-11-17 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу