ФР.1.27.2011.11538
Определение высоты неровности микрорельефа и параметров шероховатости поверхности методом двухлучевой некогерентной интерферометрии
| Номер / код | ФР.1.27.2011.11538 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Определяет измерения структуры и параметров микрорельефа поверхности |
| Измеряемая величина | Высота неровности |
| Метод измерений | Метод двухлучевой некогерентной интерферометрии |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | 0,2 нм - 2 мкм |
| Характеристика погрешности | Величина расширенной неопределенности в диапазонах измеряемых высот: от 0,2 до 20 нм включительно --- +/-(0,2+0,65h); от 20 до 180 нм включительно --- +/-(1,5+0,0063(h-20); от 180 нм до 2 мкм включительно --- +/-(2,5+0,0094(h-180)). |
| Разработчик | ФГУП 'ВНИИМС' |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМС" |
| Дата свидетельства | 2010-11-17 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу