ФР.1.27.2011.11543
Методика измерений геометрических размеров функциональных элементов изготавливаемых образцов
| Номер / код | ФР.1.27.2011.11543 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Определяет объем и порядок проведения бесконтактных измерений геометрических (линейных) размеров нано- и микроструктур на плоских полупроводниковых, проводящих и диэлектрических подложкках, изготовленных ФГУП "ЦНИИХМ" |
| Измеряемая величина | геометрические размеры |
| Метод измерений | Бесконтактный метод и использованием оптического микроскопа |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | от 1 до 10 мкм вкл.; свыше 10 до 200 мкм |
| Характеристика погрешности | сииметричные границы абсолютной погрешности измерений при P=0,95 по модулю не должны превышать в диапазоне: от 1 до 10 мкм вкл. --- 0,1 мкм; свыше 10 до 200 мкм --- 1 мкм |
| Разработчик | ФГУП 'ЦНИИХМ' |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМС" |
| Дата свидетельства | 2011-11-24 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу