ФР.1.27.2012.12687
Методика измерения средней толщины слоев арсенида галлия в полупроводниковых материалах методом фотолюминесценции
| Номер / код | ФР.1.27.2012.12687 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Определение средней толщины слоев арсенида галлия в многослойной периодической структуре со сверхрешеткой на основе твердых растворов GaAs-AlAs |
| Измеряемая величина | Толщина слоев арсенида галлия |
| Метод измерений | Лазерная фотолюминесценция |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | От 5 до13 нм |
| Характеристика погрешности | ± 0,5 нм |
| Разработчик | Федеральное государственное бюджетное учреждение высшего профессионального образования и науки Санкт-Петербургский Академический университет - научнообразовательный центр нанотехнологий Российской академии наук (СПб АУ НОЦНТ РАН) |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМС" |
| Дата свидетельства | 2012-07-25 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу