ФР.1.27.2017.27749
Линейные размеры элементов рельефа поверхности ступенчатой формы по вертикальной оси. Методика измерений с использованием принципов фотограмметрии при помощи микроскопа электронного растрового S-4800.
| Номер / код | ФР.1.27.2017.27749 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Измерение линейных размеров элементов рельефа поверхности ступенчатой формы по вертикальной оси с использованием принципов фотограмметрии при помощи микроскопа электронного растрового S-4800 в диапазоне измерений линейных размеров по вертикальной оси от 2 нм до 60 мкм. |
| Измеряемая величина | Линейные размеры элементов рельефа поверхности ступенчатой формы по вертикальной оси. |
| Метод измерений | Метод измерений основан на получении двух изображений исследуемого объекта в растровом электронном микроскопе S-4800 при двух углах наклона объекта и последующей обработкой полученных изображений, используя принципы фотограмметрии. |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | От 2 нм до 60 мкм. |
| Характеристика погрешности | Погрешность измерений линейных размеров (H, нм) элементов рельефа ступенчатой формы по вертикальной оси, нм: - в диапазоне от 2 нм до 150 нм ±0,6; - в диапазоне от 150 нм до 300 нм ±0,8; - в диапазоне от 300 нм до 500 нм ±1; - в диапазоне от 500 нм д |
| Разработчик | АО «НИЦПВ» |
| Аттестующая организация | АО "НИЦПВ" |
| Дата свидетельства | 2016-06-08 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу