ФР.1.27.2021.40592
Методика измерений № 203-001-2020 «Методика измерений параметров отклонений формы оптических плоских поверхностей диаметром до 500 мм с применением интерференционной установки ФТИ»
| Номер / код | ФР.1.27.2021.40592 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Устанавливает методику измерений параметров отклонений формы PV (максимальный размах без учета ошибок, описываемых полиномами Цернике выше 5 степени) и RMS (среднее квадратическое отклонение) оптических плоских поверхностей пластин диаметром до 500 мм при помощи интерференционной установки ФТИ |
| Измеряемая величина | См. приложение |
| Метод измерений | Определение параметров отклонений формы трех оптических плоских поверхностей диаметром до 500 мм при помощи интерференционной установки ФТИ на базе «метода трех поверхностей» с разложением полиномами Цернике до 5 порядка осуществляется в соответствии с ГОСТ Р 8.774-2011/ISO/TR 14999-3:2005. |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | см. приложение |
| Характеристика погрешности | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений параметров отклонений формы плоских поверхностей не должны превышать 0,1 мкм |
| Разработчик | ФГУП "ВНИИМС" |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМС" |
| Дата свидетельства | 2020-12-26 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу