ФР.1.27.2026.53926
МИпп-ТЛ-004-01 «Методика измерений толщины пленки фоторезистов серии ФРП3651, ФРП3652, ФРП3653. Определение точности воспроизведения толщины пленки (отклонение от целевого значения)»
| Номер / код | ФР.1.27.2026.53926 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Измерение рабочей и целевой толщин пленки фоторезистов серии ФРП3651, ФРП3652, ФРП3653 |
| Измеряемая величина | Толщина пленки |
| Метод измерений | Измерение геометрических величин |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | см. приложение |
| Характеристика погрешности | см. приложение |
| Разработчик | АО «НИОПИК» |
| Аттестующая организация | ФБУ "УРАЛТЕСТ" |
| Дата свидетельства | 2026-04-24 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу