ФР.1.27.2026.54286
МИпп-ТЛ-011-01 «Методика измерений ухода размера фрагмента воспроизводимого элемента размером 1 мкм при вариации дозы экспонирования в фоторезистах серии ФРП3651»
| Номер / код | ФР.1.27.2026.54286 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Относительного отклонения линейного размера фрагмента элементов от номинального размера (1 мкм) при размахе вариации дозы экспонирования 65 % в фоторезистах серии ФРП3651 |
| Измеряемая величина | Линейный размер |
| Метод измерений | Измерение геометрических величин |
| Вид измерений | Геометрические измерения |
| Пределы измерений | См. приложение |
| Характеристика погрешности | См. приложение |
| Разработчик | АО «НИОПИК» |
| Аттестующая организация | ФБУ "УРАЛТЕСТ" |
| Дата свидетельства | 2026-06-03 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу