ФР.1.31.2010.07405
«Методика выполнения измерений массовой доли элементов в наноматериалах методом масс-спектрометрии вторичных ионов»
| Номер / код | ФР.1.31.2010.07405 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Измерение массовой доли элементов в наноматериалах и распределения имплантированных ионов элементов бора, фосфора в кремнии, ионов элементов хрома и кремния в арсениде галли |
| Измеряемая величина | Массовая доля элементов, % |
| Метод измерений | Масс-спектрометрия вторичных ионов |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | Диапазон измерений массовой доли элементов от 0,005 % до 10,0 % Диапазон измерений содержания элемента в максимуме распределения от 2,5•1018 до 6,0•1020 см-3 Диапазон измерений среднего проецированного пробега ионов элемента от 80,0 до 350,0 нм Диапаз |
| Разработчик | ИФМ УрО РАН |
| Аттестующая организация | ФГУП "УНИИМ" |
| Дата свидетельства | 2009-11-02 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу