ФР.1.31.2011.11079
ГСИ. Методика измерений распределения по глубине концентрации бора, фосфора и мышьяка в кремнии с помощью вторично-ионного масс-спектрометра
| Номер / код | ФР.1.31.2011.11079 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | измерение распределения по глубине концентрации бора, фосфора и мышьяка в кремнии с помощью вторично-ионного масс-спектрометра |
| Измеряемая величина | распределение по глубине концентрации бора, фосфора и мышьяка |
| Метод измерений | с помощью вторично-ионного масс-спектрометра |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | в соответствии со свидетельством об аттестации |
| Характеристика погрешности | в соответствии со свидетельством об аттестации |
| Разработчик | ФГУП 'НИИФП им. Ф.В. Лукина' |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИОФИ" |
| Дата свидетельства | 2011-09-12 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу