ФР.1.31.2011.11150
М 03-2011-ПС «Слои твердых растворов SixGe1-x наноразмерные. Методика измерений массовой доли германия и кремния методом электронной Оже – спектрометрии»
| Номер / код | ФР.1.31.2011.11150 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Обеспечение измерений массовой доли германия и кремния на поверхности твердых растворов (до глубины около 5 нм) методом электронной Оже - спектрометрии с использованием сверхвысоковакуумного комплекса Multiprobe RM производства Omicron Nanotechnology GmbH. Объект исследования: тонкие пленки твердого раствора SiGe толщиной около 1 мкм, созданные методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках кремния ориентации (001) с различным содержанием германия и кремния. Область использования: нан |
| Измеряемая величина | Массовая доля германия и кремния в наноразмерных слоях твердых растворов |
| Метод измерений | основано на анализе спектра эмиссии характеристичных оже - электронов с энергией 40 – 2000 эВ |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | Массовая доля германия от 5,0 до 95 %. Массовая доля кремния от 5,0 до 95 %. |
| Характеристика погрешности | Методика обеспечивает получение результатов измерений с погрешностями: – массовой доли германия в диапазоне от 5,0 % до 50 % вкл. ± 17 % отн., в диапазоне св. 50 % до 95 % вкл. ± 14 % отн.; – массовой доли кремния в диапазоне от 5,0 % до 50 % вк |
| Разработчик | ФБУ «Нижегородский ЦСМ» |
| Аттестующая организация | ФГУ "Нижегородский ЦСМ" |
| Дата свидетельства | 2011-09-12 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу