ФР.1.31.2017.26704
Стандарт организации. Структуры полупроводниковые на основе арсенидов металлов третьей группы. Методика измерений концентрации носителей заряда и определения распределения этой величины по толщине структуры методом вольт-емкостного профилирования. МИ 023-59503334-2017
| Номер / код | ФР.1.31.2017.26704 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Настоящая методика устанавливает метод измерения концентрации основных носителей заряда n-типа в отдельном однородно легированном по толщине слое и определения распределения этой величины по глубине слоев структуры с неоднородным профилем легирования методом вольт-емкостного профилирования. Методика предназначена для применения вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений при разработке, изготовлении и приемке полупроводниковых структур, предназначенных для изготовлен |
| Измеряемая величина | Концентрация носителей заряда, Xср, см-3 |
| Метод измерений | Вольт-емкостное профилирование |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | см. приложение |
| Характеристика погрешности | см. приложение |
| Разработчик | ФГБУ ВПО и науки Санкт-Петербургский Академический университет - научнообразовательный центр нанотехнологий Российской академии наук (СПб АУ НОЦНТ РАН) |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМ им. Д.И. Менделеева" |
| Дата свидетельства | 2017-01-27 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу