ФР.1.31.2020.36294
КБУА.25200.00079 «Моносилан высокочистый. Методика измерений объемной доли примесей хромато масс спектрометрическим методом»
| Номер / код | ФР.1.31.2020.36294 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Измерения объемной доли азота (N2), аргона (Ar), оксида углерода (CO2), метана (CH4), этана (C2H6), этилена (C2H4), ацетилена (C2H2), пропана (C3H8), пропилена (C3H6), изо-бутана (i-C4H10), н-бутана (n-C4H10), арсина (AsH3), фосфина (PH3) и моногермана (GeH4) в моносилане (SiH4) высокочистом хромато-масс-спектрометрическим методом |
| Измеряемая величина | Объемная доля примесей. |
| Метод измерений | Хромато-масс-спектрометрический метод. |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | Пределы измерений указаны в приложенном файле. |
| Характеристика погрешности | Характеристики погрешности измерений указаны в приложенном файле. |
| Разработчик | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых Российской академии наук» (ИХВВ РАН) |
| Аттестующая организация | ФБУ "НИЖЕГОРОДСКИЙ ЦСМ" |
| Дата свидетельства | 2019-10-29 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу