ФР.1.31.2022.42693
М.241.0004/RA.RU.311866/2022 «Методика измерений массы мишени для напыления с применением компаратора массы MCM60K3 Sartorius»
| Номер / код | ФР.1.31.2022.42693 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | 1.1 Настоящий документ распространяется на мишени для напыления, изготовленные с применением следующих материалов: золото, серебро, высокочистый алюминий, никель-ванадий, платина, тантал, титан-вольфрам, вольфрам, молибден, кремний, с максимальным диаметром 520 мм, и устанавливает требования к методике измерений массы методом замещения. 1.2 Методика предназначена для применения в Федеральном государственном бюджетном учреждении науки «Институт нанотехнологий микроэлектроники» Российской академии наук (ИНМЭ РАН), в т.ч. в сфере обороны и безопасности. |
| Измеряемая величина | Масса |
| Метод измерений | Метод замещения по схеме АВВА |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | от 5000 до 60000 г вкл. |
| Характеристика погрешности | см. приложение |
| Разработчик | УНИИМ - филиал ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» |
| Аттестующая организация | УРАЛЬСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИИ (УНИИМ-филиал ФГУП "ВНИИМ им. Д.И.Менделеева") |
| Дата свидетельства | 2022-02-14 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу