ФР.1.31.2023.45329
Методика измерений плотности суспензии для диэлектрических слоев и суспензии для слоев вольфрама ареометрами АОН-1 РКВТ.МИ.Пл-052
| Номер / код | ФР.1.31.2023.45329 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Настоящая методика предназначена для использования в лабораториях, выполняющих анализы для оценивания качества суспензий, используемых в полупроводниковых производствах. |
| Измеряемая величина | Плотность суспензий |
| Метод измерений | ариометрический метод |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | от 0,700 г/см3 до 1,840 г/см3 |
| Характеристика погрешности | Расширенная неопределенность, U, г/см3 0,002 |
| Разработчик | АО «НИИМЭ» |
| Аттестующая организация | ФБУ "РОСТЕСТ-МОСКВА" |
| Дата свидетельства | 2022-12-09 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу