ФР.1.31.2023.45331
Методика измерений pH суспензии для диэлектрических слоев и суспензии для слоев вольфрама с использованием рН-метра ProfiLine рН 1970i. РКВТ.МИ.pH-053
| Номер / код | ФР.1.31.2023.45331 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Настоящая методика предназначена для использования в лабораториях, выполняющих анализы для оценивания качества суспензий, используемых в полупроводниковых производствах |
| Измеряемая величина | рН |
| Метод измерений | потенциометрический метод |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | Диапазон pH - суспензии для диэлектрических слоев от 7,00 до 14,00 - суспензии для слоев вольфрама от 0,00 до 7,00 |
| Характеристика погрешности | Расширенная неопределенность, U, ед. рН 0,03 |
| Разработчик | АО «НИИМЭ» |
| Аттестующая организация | ФБУ "РОСТЕСТ-МОСКВА" |
| Дата свидетельства | 2022-12-09 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу