ФР.1.31.2023.45344
Методика измерений электронных и химических свойств в функциональных тонкопленочных структурах на основе метода HAXPES
| Номер / код | ФР.1.31.2023.45344 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Предназначена для измерений химических и электронных свойств тонких плёнок оксидных диэлектрических материалов, имеющих потенциал применения в перспективных устройствах микроэлектроники, изготовленных на сильнолегированных кремниевых или металлических подложках, методом высокоэнергетической рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии с применением синхротронного источника рентгеновского излучения |
| Измеряемая величина | Относительная концентрации атомов с различной степенью окисления в исследуемой пленке, %; Положение края валентной зоны в оксиде, эВ. |
| Метод измерений | Измерения относительная концентрации атомов с различной степенью окисления в исследуемой пленке проводятся методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Энергетическое положение края валентной зоны относительно уровня Ферми подложки определяется по крайнему правому «склону» спектра, соответствующему наименьшей энергии связи электронов в исследуемом оксидном материале |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | См. приложение |
| Характеристика погрешности | См. приложение |
| Разработчик | "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)" (МФТИ, Физтех) |
| Аттестующая организация | ФГБУ "ВНИИОФИ" |
| Дата свидетельства | 2022-12-20 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу