ФР.1.31.2023.45498
Методика измерений массовой концентрации примесных элементов в суспензии для диэлектрических слоев и суспензии для слоев вольфрама методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой РКВТ.МИ.К–055
| Номер / код | ФР.1.31.2023.45498 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Настоящая методика предназначена для измерений массовой концентрации элементов Al, B, Fe, Ca, Co, Mg, Mn, Cu, Na, Ni, Ti, Cr, Zn, Zr в технологических суспензии для диэлектрических слоев и суспензии для слоев вольфрама методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой |
| Измеряемая величина | массовой концентрации элементов Al, B, Fe, Ca, Co, Mg, Mn, Cu, Na, Ni, Ti, Cr, Zn, Zr |
| Метод измерений | метод ИСП-МС |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | см. приложение |
| Характеристика погрешности | см. приложение |
| Разработчик | АО «НИИМЭ» |
| Аттестующая организация | ФБУ "РОСТЕСТ-МОСКВА" |
| Дата свидетельства | 2023-01-12 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу