ФР.1.31.2023.45637
РКВТ.МИ.SiO2–056 «Методика измерений массовой доли SiO2 в пробах суспензий для химико-механической планаризации слоев вольфрама, диэлектрических слоев и других кремнийсодержащих суспензий методом фотометрии»
| Номер / код | ФР.1.31.2023.45637 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | измерение массовой доли диоксида кремния (SiO2) в пробах суспензий для слоев вольфрама, суспензий для диэлектрических слоев и других кремнийсодержащих суспензий методом фотометрии |
| Измеряемая величина | Массовая доля |
| Метод измерений | Метод титриметрии |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | от 1,0 % до 35,0 % |
| Характеристика погрешности | См. приложение |
| Разработчик | Акционерное общество «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники» |
| Аттестующая организация | ФБУ "УРАЛТЕСТ" |
| Дата свидетельства | 2023-02-14 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу