ФР.1.31.2023.45773
РКВТ.МИ.УП - 059 «Методика измерений среднего диаметра частиц и площади удельной поверхности частиц в суспензии для химико-механической планаризации диэлектрических слоев (SiO2)»
| Номер / код | ФР.1.31.2023.45773 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Измерение среднего диаметра частиц и площади удельной поверхности частиц в суспензии для химико-механической планаризации диэлектрических слоев (SiO2) |
| Измеряемая величина | Диаметр частиц, площадь удельной поверхности частиц |
| Метод измерений | Физико-химические измерения |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | от 20 до 20000 нм; от 0,14 до 136,35 м2/г |
| Характеристика погрешности | См. приложение |
| Разработчик | АО «УРАЛИНТЕХ» |
| Аттестующая организация | ФБУ "УРАЛТЕСТ" |
| Дата свидетельства | 2023-03-15 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу