ФР.1.31.2023.45974
Методика измерений ширины полосы литографического рисунка на поверхности монокристалла кремния методом атомно-силовой микроскопии
| Номер / код | ФР.1.31.2023.45974 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Измерение ширины полосы литографического рисунка на поверхности монокристалла кремния методом атомно-силовой микроскопии в диапазоне от 0,1 до 90 мкм |
| Измеряемая величина | ширина полосы литографического рисунка |
| Метод измерений | Физико-химический |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | от 0,1 до 90 мкм |
| Характеристика погрешности | Границы относительной погрешности измерений ширины полосы литографического рисунка на поверхности монокристалла кремния при доверительной вероятности Р=0,95 находятся в интервале ±15 % |
| Разработчик | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский национальный исследовательский государственный университет» |
| Аттестующая организация | ФБУ "УРАЛТЕСТ" |
| Дата свидетельства | 2023-04-27 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу