ФР.1.31.2026.53899
Методика измерений плотности суспензий для шлифовки барьерного (TA/TAN) и медного слоев. РКВТ.МИ.Пл-0110
| Номер / код | ФР.1.31.2026.53899 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | предназначена для использования в лабораториях, выполняющих анализы для подтверждения соответствия качества суспензий, используемых в полупроводниковых производствах |
| Измеряемая величина | плотность |
| Метод измерений | косвенный |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | От 0,700 г/см3 до 1,804 г/см3 включительно |
| Характеристика погрешности | Допускаемая относительная погрешность результата измерений при доверительной вероятности (Р=0,95), ± δл: 0,1 % |
| Разработчик | АО «НИИМЭ» |
| Аттестующая организация | ФБУ «НИЦ ПМ – РОСТЕСТ» |
| Дата свидетельства | 2026-04-11 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу