ФР.1.31.2026.53901
Методика измерений динамической вязкости суспензий для барьерного (TA/TAN) и медного слоев методом ротационной реометрии. РКВТ.МИ.Вяз-0111
| Номер / код | ФР.1.31.2026.53901 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика позволяет проводить измерения динамической вязкости в анализируемой пробе Ta/TaN и МС в диапазоне от 1,0 до 5,0 мПа∙с. Результаты измерений, полученные по методике, используются для подтверждения соответствия качества суспензий для химико-механической планаризации барьерных Ta/TaN и медных слоёв, используемых в полупроводниковых производствах. |
| Измеряемая величина | Динамическая вязкость |
| Метод измерений | косвенный |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | От 1,00 мПа·с до 5,00 мПа·с включительно |
| Характеристика погрешности | Допускаемая относительная погрешность результата измерений при доверительной вероятности (Р=0,95), ± δл: 1,48 для Та/ТаN и 2,16 % для меди |
| Разработчик | АО «НИИМЭ» |
| Аттестующая организация | ФБУ «НИЦ ПМ – РОСТЕСТ» |
| Дата свидетельства | 2026-04-21 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу