ФР.1.31.2026.53908
Методика измерений величины водородного показателя рН суспензий для барьерного (TA/TAN) и медного слоев с использованием анализатора жидкости MT MEASUREMENT PH 400F. РКВТ.МИ.рН-0112.
| Номер / код | ФР.1.31.2026.53908 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | методика предназначена для использования в лабораториях, выполняющих измерения для оценивания качества суспензий для химико-механической планаризации барьерного (Ta/TaN) и медного слоёв (МС), используемых в полупроводниковых производствах |
| Измеряемая величина | водородный показатель |
| Метод измерений | прямой |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | От 7до 14 включительно |
| Характеристика погрешности | Допускаемая относительная погрешность результата измерений при доверительной вероятности (Р=0,95), ± δл: 0,36 для Та/ТаN и 0,54 % для меди |
| Разработчик | АО «НИИМЭ» |
| Аттестующая организация | ФБУ «НИЦ ПМ – РОСТЕСТ» |
| Дата свидетельства | 2026-04-21 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу