ФР.1.31.2026.53951
Методика измерений среднего диаметра взвешенных частиц в пробах суспензии для барьерного (TA/TAN) слоя лазерным анализатором частиц Photocolor mini № РКВТ.МИ.Ч-0114
| Номер / код | ФР.1.31.2026.53951 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика предназначена для использования в лабораториях, выполняющих анализы для подтверждения соответствия качества суспензий для химико-механической планаризации барьерного (Ta/TaN) и медного слоёв (МС), используемых в полупроводниковых производствах. |
| Измеряемая величина | плотность |
| Метод измерений | косвенный |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | От 0,7 г/см3 до 1,804 г/см3 включительно |
| Характеристика погрешности | Допускаемая относительная погрешность результата измерений при доверительной вероятности (Р=0,95), ± δл,: 11,0 % |
| Разработчик | АО «НИИМЭ» |
| Аттестующая организация | ФБУ «НИЦ ПМ – РОСТЕСТ» |
| Дата свидетельства | 2026-04-21 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу