ФР.1.31.2026.53952
Методика измерений массовой доли сухого остатка после прокаливания в суспензиях для барьерного (TA/TAN) и медного слоев гравиметрическим методом. РКВ.МИ.СО-0115.
| Номер / код | ФР.1.31.2026.53952 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | методика предназначена для использования в лабораториях, выполняющих анализы для подтверждения соответствия качества суспензий для химико-механической планаризации барьерного (Ta/TaN) и медного слоёв (МС), используемых в полупроводниковых производствах. |
| Измеряемая величина | массовая доля |
| Метод измерений | прямой метод |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | От 0,500 % масс до 20 % масс включительно |
| Характеристика погрешности | Допускаемая относительная погрешность результата измерений при доверительной вероятности (Р=0,95), ± δл: 1,00 для Та/ТаN и 1,83 % для меди |
| Разработчик | АО «НИИМЭ» |
| Аттестующая организация | ФБУ «НИЦ ПМ – РОСТЕСТ» |
| Дата свидетельства | 2026-04-21 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу