ФР.1.31.2026.53953
Методика измерений массовых долей 13 химических элементов: Al, Fе, K, Cа, Mg, Cu, Na, Ni, Pb, Ag, Ti, Cr, Zn, в пробах суспензии для химико-механической планаризации барьерного (Ta/Tan) слоя методом оптико-эмиссионной спектрометрии с индуктивно связанной плазмой (исп-оэс). РКВТ.МИ.К-0117
| Номер / код | ФР.1.31.2026.53953 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Измерение массовой доли допустимых примесей 13 химических элементов: Al, Fe, K, Ca, Mg, Cu, Na, Ni, Pb, Ag, Ti, Cr, Zn, в пробах суспензии для химико-механической планаризации барьерного (Ta/TaN) слоя методом оптико-эмиссионной спектрометрии с индуктивно связанной плазмой (ИСП-ОЭС) |
| Измеряемая величина | массовая доля |
| Метод измерений | Косвенный |
| Вид измерений | Физико-химические измерения |
| Пределы измерений | От 5,0·10^-4 % масс до 150,0·10^-4 % масс включительно |
| Характеристика погрешности | Допускаемая относительная погрешность результата измерений при доверительной вероятности (Р=0,95), ± δл: 0,1 % |
| Разработчик | АО «НИИМЭ» |
| Аттестующая организация | ФБУ «НИЦ ПМ – РОСТЕСТ» |
| Дата свидетельства | 2026-04-21 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу