ФР.1.34.2022.42843
Методика измерений поверхностного (слоевого) электрического сопротивления, подвижности и плотности носителей заряда двумерного электронного газа по эффекту Холла в гетероэпитаксиальных структурах нитридов галлия-алюминия на подложках карбида кремния
| Номер / код | ФР.1.34.2022.42843 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика измерений предназначена для измерений поверхностного (слоевого) электрического сопротивления, подвижности и плотности носителей заряда двумерного электронного газа в гетероэпитаксиальных структурах нитридов галлия-алюминия на подложках карбида кремния по эффекту Холла методом ван дер Пау |
| Измеряемая величина | 1 поверхностное (слоевое) электрическое сопротивление на квадрат поверхности; 2 подвижность носителей заряда; 3 плотность носителей заряда |
| Метод измерений | Метод ван дер Пау |
| Вид измерений | Электрические и магнитные измерения |
| Пределы измерений | 1 поверхностное (слоевое) электрическое сопротивление на квадрат поверхности: от 150 до 2500 Ом; 2 подвижность носителей заряда: от 250 до 2000 см^2/(В∙с); 3 плотность носителей заряда: от 0,9∙10^13 до 4,5∙10^13 см^-2. |
| Характеристика погрешности | 1 поверхностное (слоевое) электрическое сопротивление на квадрат поверхности: ПГО ±5,7 %; 2 подвижность носителей заряда: ПГО ±8,7 %; 3 плотность носителей заряда: ПГО ±5,8 %. |
| Разработчик | АО «НИИ МВ» |
| Аттестующая организация | УРАЛЬСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИИ (УНИИМ-филиал ФГУП "ВНИИМ им. Д.И.Менделеева") |
| Дата свидетельства | 2022-03-03 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу