ФР.1.37.2011.10999
МИ-113-2011 «Методика измерения мощности УФ-излучения с помощью детектора для нанолитографии
| Номер / код | ФР.1.37.2011.10999 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Определение мощности УФ-излучения в спек-тральном промежутке 80-12 эВ |
| Измеряемая величина | Мощность УФ-излучения |
| Метод измерений | С помощью полупроводникового детектора синхротронного излучения |
| Вид измерений | Оптические и оптико-физические измерения |
| Пределы измерений | 10-10 – 10-8 Вт |
| Характеристика погрешности | 2 % |
| Разработчик | Федеральное государственное бюджетное образо-вательное учреждение высшего профессионального образования «Национальный исследовательский Томский государственный университет» Цен-тр «Биотест-Нано» |
| Аттестующая организация | ФГУП "УНИИМ" |
| Дата свидетельства | 2011-10-20 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу