ФР.1.37.2014.16805
Методика измерений линейных размеров элементов тонкопленочных структур методом просвечивающей электронной микроскопии
| Номер / код | ФР.1.37.2014.16805 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика измерений предназначена для измерений толщины кристаллических наноразмерных слоев тонкопленочных структур (гетероструктур) |
| Измеряемая величина | Толщина кристаллических наноразмерных слоев тонкопленочных структур (гетероструктур) |
| Метод измерений | Метод просвечивающей электронной микроскопии |
| Вид измерений | Оптические и оптико-физические измерения |
| Пределы измерений | В диапазоне 3 - 50 нм |
| Характеристика погрешности | Суммарная стандартная неопределенность по типу В при Р=0,95 составляет 0,7 нм в диапазоне 3 – 50 нм |
| Разработчик | ООО 'Метрологический центр 'РОСНАНО' |
| Аттестующая организация | ООО "МЦ РОСНАНО" |
| Дата свидетельства | 2011-01-25 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу