ФР.1.37.2019.35834
СТО 10155318.002-2019 «Стандарт организации. Методика выполнения измерений кристаллографической ориентации полупроводниковой пластины из монокристаллического германия и угла отклонения плоскости от заданной кристаллографической ориентации (100) рентгеновским дифрактометрическим методом»
| Номер / код | ФР.1.37.2019.35834 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | измерения кристаллографической ориентации полупроводниковой пластины из монокристаллического германия и угла отклонения плоскости от заданной кристаллографической ориентации (100) |
| Измеряемая величина | угол отклонения плоскости пластины из монокристаллического германия от заданной кристаллографической ориентации (100) |
| Метод измерений | рентгеновский дифрактометрический метод |
| Вид измерений | Оптические и оптико-физические измерения |
| Пределы измерений | от 0º до 10º |
| Характеристика погрешности | показатель повторяемости (среднеквадратическое отклонение повторяемости) 2′; показатель воспроизводимости (среднеквадратическое отклонение воспроизводимости) 4′; показатель правильности (границы систематической погрешности при Р=0,95) ± 6′; показатель точности (границы погрешности при Р=0,95) ± 10′ |
| Разработчик | ФБУ "Красноярский ЦСМ" |
| Аттестующая организация | ФБУ "ТОМСКИЙ ЦСМ" |
| Дата свидетельства | 2019-10-18 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу